簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="外差式光柵干涉儀"


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    整合外差式光柵干涉儀於精密定位平台之單軸直線度誤差補償
    • /102/ 碩士
    • 研究生: 朱昱儒 指導教授: 林紀穎
    • 本文主要針對精密定位系統的水平直線度誤差量測與補償探討,提出一套具有高精密定位能力之雙層驅動平台,並結合光學位移量測裝置、相位解調電路及控制系統,以探討長行程驅動平台於定位時產生的直線度誤差補償。此…
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